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氦质谱仪检漏
氦质谱检漏实验，用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏。
氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散，将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦起反应的工作状态）的被检产品上，若产品有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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